簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "電子工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="半吸光層"


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    低溫閘極絕緣膜改質技術開發
    • /94/ 碩士
    • 研究生: 李昇儒 指導教授: 葉文昌
    • 為了達成塑膠基板薄膜電晶體的目標,我們成功開發出利用半吸光層經過準分子雷射回火後,可以實現低溫閘極絕緣膜的改質效果。而此絕緣膜是由100℃具吸收係數的SiONx與SiO2組成。 我們利用吸收係數40…
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